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半导体真空分子泵动平衡维修案例
上周,华东一家头部芯片晶圆厂的生产线差点炸锅。他们产线上一台关键的半导体真空分子泵,振动突然严重超标。主管急得直冒汗,这要停下来拆机检修,损失可就大了。生产线停一天,那都是白花花的银子啊。 结果呢?他们一个紧急电话打到了我们江苏振迪检测。
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